亚洲精品一区中文字幕乱码_色偷偷噜噜噜亚洲男人的天堂_国产精品偷乱一区二区三区_欧美精品久久久久久

產(chǎn)品目錄
您的位置: 網(wǎng)站首頁 >> 技術(shù)文章 >> 淺析光學(xué)高溫計應(yīng)用說明

淺析光學(xué)高溫計應(yīng)用說明

發(fā)布日期: 2018-04-23
瀏覽人氣: 2105
提供了一種光學(xué)高溫計和一種使用該光學(xué)高溫計處理半導(dǎo)體的設(shè)備,該光學(xué)高溫計具有減少接收部的污染的結(jié)構(gòu)。其他方面將在下面的描述中部分地進行闡述,并且部分地通過該描述將是清楚的,或者可以通過給出的示例性實施例的實施而明了。根據(jù)本公開的一方面,光學(xué)高溫計包括:接收部,具有用于接收加熱單元的光輻射的接收端;和殼部,覆蓋除接收部的接收端以外的接收部,其中,接收部的接收端的與接收部的接收端的縱向垂直的截面的面積朝接收部的接收端的端部減小。
接收部的接收端可以具有半球形形狀、錐形形狀、圓錐形形狀、截圓錐形形狀、多棱錐形形狀和截多棱錐形形狀中的任意一種。光學(xué)高溫計還可以包括用于將凈化氣體注入接收部和殼部之間的凈化氣體注入部。通過凈化氣體注入部注入的凈化氣體的流率可以設(shè)置成使得在接收部的接收端處產(chǎn)生的渦流為大的值。 接收部可以包括用于傳輸光的導(dǎo)光管。接收部可以由透明材料形成。
殼部的端部可以相對于接收部的接收端的端部突出。接收部的接收端可以布置成鄰近加熱單元。根據(jù)本公開的另一方面,半導(dǎo)體處理設(shè)備包括:室,用于容納基底,所述基底用來處理半導(dǎo)體;加熱單元,用于加熱室的內(nèi)部;和高溫計,用于檢測室的內(nèi)部的溫度,所述高溫計包括接收部和殼部,接收部具有接收端,接收端用于接收加熱單元的光輻射,殼部覆蓋除接收部的接收端以外的接收部,其中,接收部的接收端的與接收部的接收端的縱向垂直的截面的面積朝接收部的接收端的端部減小。接收部的接收端可以具有半球形形狀、錐形形狀、圓錐形形狀、截圓錐形形狀、多棱錐形形狀和截多棱錐形形狀中的任意一種。半導(dǎo)體處理設(shè)備還可以包括用于將凈化氣體注入接收部和殼部之間的凈化氣體注入部。通過凈化氣體注入部注入的凈化氣體的流率可以設(shè)置成使得在接收部的接收端處產(chǎn)生的渦流為大的值。接收部可以包括用于傳輸光的導(dǎo)光管。接收部可以由透明材料形成。殼部的端部可以相對于接收部的接收端的端部突出。接收部的接收端可以布置成鄰近加熱單元。半導(dǎo)體處理設(shè)備可以是有機化學(xué)沉積設(shè)備。半導(dǎo)體處理設(shè)備還可以包括被加熱單元加熱并用于支持室中的基底的支持物,其中,接收部的接收端布置成鄰近支持物。支持物可以是用于支持基底的襯托器
想了解更多光學(xué)高溫計的相關(guān)信息,咨詢
分享到:
鄭州歐諾儀器有限公司
版權(quán)所有©2025 鄭州歐諾儀器有限公司 備案號:豫ICP備12027470號-1
  • 掃一掃,關(guān)注我們

五十路熟女中出| 午夜精品久久久久久久第一页按摩| 亚洲av日韩精品久久久久久hd| xxx国产精品| 97人妻精品一区二区三区四区五区| 巨大黑人极品videos精品| gogogo高清在线免费观看| 狠狠做六月爱婷婷综合aⅴ| 尤物99国产成人精品视频| 久久久久久久高潮| 亚洲av二区三区| 中文字幕日韩经典| 少妇高潮片一区二区三区99| 不卡的日韩av| 熟女人妻精品一区二区视频| 国产精品一级黄色片| 亚洲精品毛片av| 久久国产精品亚洲| 亚洲国产精品99久久久| 亚洲av日韩av综合aⅴxxx| 久久久久久高潮国产精品视| 高清国产一区二区| 亚洲午夜久久久久久久国产| 黄色在线观看av| 亚洲国产精品成人综合久久久| 中文字幕成人A片毛片久久| 蜜臀久久99精品久久久久久宅男| 国产一级黄色免费网站| 欧美人妻中出| 国产精品理论片| 亚洲另类色| 一本色道综合久久欧美日韩精品| 92午夜福利视频| 中文字幕精品久久一区二区三区| 中文天堂资源在线| 少妇淫| JAPANESE MATURE| 欧美性色欧美a在线播放| 日产久久精品| 精品国产一区在线观看| 久久久久久国产一区二区三区|